Yarımkeçirici materialların mikrostruktur təhlili və qiymətləndirilməsi

Qısa təsvir:

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Xidmətin təqdimatı

Genişmiqyaslı inteqral sxemlərin davamlı inkişafı ilə çip istehsalı prosesi getdikcə mürəkkəbləşir və yarımkeçirici materialların anormal mikrostruktur və tərkibi çip məhsuldarlığının yaxşılaşdırılmasına mane olur, bu da yeni yarımkeçirici və inteqral sxem texnologiyalarının tətbiqinə böyük problemlər gətirir.

GRGTEST müştərilərə yarımkeçirici və inteqral sxem proseslərini təkmilləşdirməyə kömək etmək üçün hərtərəfli yarımkeçirici materialın mikrostruktur təhlili və qiymətləndirilməsini təmin edir, o cümlədən vafli səviyyə profilinin hazırlanması və elektron analiz, yarımkeçirici istehsalı ilə əlaqədar materialların fiziki və kimyəvi xassələrinin hərtərəfli təhlili, yarımkeçirici materialın çirkləndirici analiz proqramının tərtibi və həyata keçirilməsi.

Xidmət sahəsi

Yarımkeçirici materiallar, üzvi kiçik molekullu materiallar, polimer materiallar, üzvi/qeyri-üzvi hibrid materiallar, qeyri-üzvi qeyri-metal materiallar

Xidmət proqramı

1. Fokuslanmış ion şüa texnologiyasına (DB-FIB), çipin yerli sahəsinin dəqiq kəsilməsinə və real vaxt rejimində elektron görüntüyə əsaslanan çip vafli səviyyəli profilin hazırlanması və elektron təhlili, çip profilinin strukturunu, tərkibini və digər mühüm proses məlumatlarını əldə edə bilər;

2. Yarımkeçirici istehsal materiallarının, o cümlədən üzvi polimer materialların, kiçik molekullu materialların, qeyri-üzvi qeyri-metal materialların tərkibinin təhlili, molekulyar strukturun təhlili və s., fiziki və kimyəvi xassələrinin kompleks təhlili;

3. Yarımkeçirici materiallar üçün çirkləndiricilərin təhlili planının tərtibi və həyata keçirilməsi. O, müştərilərə çirkləndiricilərin fiziki və kimyəvi xüsusiyyətlərini tam başa düşməyə kömək edə bilər, o cümlədən: kimyəvi tərkibin təhlili, komponentlərin məzmununun təhlili, molekulyar strukturun təhlili və digər fiziki və kimyəvi xüsusiyyətlərin təhlili.

Xidmət Əşyaları

Xidmətnövü	Xidmətmaddələr
Yarımkeçirici materialların element tərkibinin təhlili	l EDS elementar analizi, l X-ray fotoelektron spektroskopiyası (XPS) elementar analizi
Yarımkeçirici materialların molekulyar strukturunun təhlili	l FT-IR infraqırmızı spektr analizi, l X-ray difraksiyasının (XRD) spektroskopik analizi, l Nüvə maqnit rezonans pop analizi (H1NMR, C13NMR)
Yarımkeçirici materialların mikrostruktur təhlili	l İkiqat fokuslanmış ion şüası (DBFIB) dilim analizi, l Mikroskopik morfologiyanı ölçmək və müşahidə etmək üçün sahə emissiyasını skan edən elektron mikroskopiyadan (FESEM) istifadə edilmişdir, l Səth morfologiyasının müşahidəsi üçün atom qüvvəsi mikroskopiyası (AFM).